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氮化鋁造粒粉

氮化鋁造粒粉由微米粉噴霧造粒而成，含有粘結劑及燒結助劑，可直接壓制成形。鉅瓷科技的氮化鋁造粒粉具有良好的流動性、高燒結活性，以及高純度、高強度的特點，可用于制作氮化鋁加熱器/靜電吸盤/刻蝕防護罩/熱壓氮化鋁陶瓷等各種半導體設備部件。

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產品特性

高純度

High Purity

1

即時壓制

Ready for press

2

高強度

High strength

3

高燒結活性

High sintering activity

4

良好流動性

High fluidity

5

技術參數


項目Item

GS-80

平均粒徑 Mean particle size (μm) 

70~120

Y2O3 (WT%)

5

松裝密度 Bulk density (g/cm3)

0.8~1.0

流動性 Fluidity (s/50g)

80~100

雜質含量
Impurity

Ca (ppm)

＜500

Si (ppm)

<100

Fe (ppm)

<30

成形工藝



脫脂工藝


200℃前3℃/ min ，400℃前2℃/ min，500℃前5℃/ min ，保溫2小時。

燒結溫度1830~1900℃，保溫時間3~5 hrs,流動氮氣，0.1MPa

產品應用

壓制陶瓷原料：加熱器/靜電吸盤/刻蝕防護罩/熱壓氮化鋁陶瓷


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